Các tính năng chính:

1. Máy này phù hợp để mài và đánh bóng chính xác các vật liệu bán dẫn có độ cứng cao và yêu cầu độ chính xác xử lý cao. Nó đặc biệt thích hợp để xử lý các bộ phận mỏng. Áp lực đánh bóng đồng đều và không dễ bị phân mảnh.

2. Bên trong máy công cụ sử dụng phương pháp xử lý chống ăn mòn DuPont Teflon để đảm bảo tuổi thọ của các bộ phận.

3. Tấm dưới được hỗ trợ bởi bệ thủy tĩnh nổi dầu tiên tiến để đảm bảo độ cứng hỗ trợ và độ chính xác quay của tấm dưới.

4. Tấm trên được kéo bởi hệ thống cân bằng dây thép, có thể tự động điều chỉnh mức độ của tấm trên.

5. Bánh răng vòng ngoài được nâng lên và hạ xuống bằng áp suất dầu, trong khi tấm dưới vẫn cố định, cho phép tấm dưới đạt được độ chính xác và ổn định cao hơn.

6. Máy công cụ được trang bị thiết bị đo trực tuyến tự động, có thể kiểm soát chính xác độ dày và kích thước mài của phôi.